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近红外激光退火晶化CIGS薄膜研究
利用脉冲激光沉积法在石英基底上沉积铜铟镓硒薄膜为前驱物,采用波长1 064 nm的近红外脉冲激光在不同能量密度下对其进行退火晶化.......
期刊
薄膜物理
激光退火
铜铟镓硒薄膜
能量密度
结晶
压应力
表面条纹
thin film physics
laser annealing
CuInl_xGax
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